2019年得獎作品集   
新代科技特別獎/專上組首獎:創新式繞射共焦表面輪廓量測儀
獎項:
新代科技特別獎/專上組首獎
作品名稱:
創新式繞射共焦表面輪廓量測儀
團隊成員:
伍國瑋、江明駿、劉修文
學校名稱:
國立臺灣大學
作品說明:
本研究巧妙利用傳統共軛焦顯微鏡中被視為雜訊的光場,成功開發出基於繞射圖譜比對分析之三維形貌量測技術。不僅省去了軸向掃描的必要,更與大尺寸數位微鏡 (digital micromirror device, DMD) 整合成緊湊的光機設計,實現大視場 (field of view, FOV)、上千點的高速平行量測之三維形貌量測模組,並架設於超精密零阿貝晶圓量測平台上實現大範圍、高精度、高速掃描量測,此系統之量測速度與重現性透過雛型機之實測表現已經展現出其應用潛力。
得獎感言:
首先感謝陳亮嘉指導教授,經常性與我們開會討論許多研究上的議題,在學理或是實務方面提供寶貴的建議與方向,指出我們當下看不清楚的技術價值,督促我們在學理上進深紮根,並且推選我們參與第 11 屆 i-ONE 國際儀器科技創新競賽,才有這樣特別的機會公開呈現團隊成員們平日辛苦累積研究成果。此外,也要特別感謝儀科中心、評審委員的辛勞,以及廠商的贊助,使得本次活動舉辦成功,提升國內儀器開發能量與氛圍。最後要感謝一同參賽的其他團隊,各團隊都有非常優異的表現,一同製造緊張氣氛,也讓我們有機會瞭解其他領域的研究,增廣彼此的見聞。
評審評語:
作品之創意點在利用共軛焦顯微鏡之雜訊光場,開發出繞射圖譜比對分析之三維形貌量測技術,系統完成度高已具有可供實測之實用性, 實驗過程、樣本實測、結果探討、分析尚稱詳實,未來應用頗能期待。